三星電子加緊追趕台積電(2330)，全力衝刺製程微縮，據傳三星電子在Note 7回收焦頭爛額之際，仍砸下重金，採購生產晶圓的極紫外光微影(Extreme Ultraviolet lithography、EUV)設備。
韓國先驅報20日引述韓媒New 1消息報導，三星半導體研發部門主管Chung Seung-eun，造訪歐洲半導體設備龍頭艾司摩爾(ASML)總部，敲定EUV採購案，總價為2,000億韓圜(1.78億美元)。
Note 7電池爆炸回收，讓三星損失慘重，先前出售了艾司摩爾、夏普等持股，疑似要籌錢替note 7召回擦屁股。三星原本持有2.9%的艾司摩爾股權，本月初售出了1.45%股份，進帳6.81億美元，當時三星表示，雙方策略結盟的關係不會改變。
EUV可用於製程微縮，生產更小的晶圓，據稱Chung表示，等到良率提升之後，三星還打算增購更多EUV機台。
韓媒etnews 7月報導，10奈米晶片之戰，台積奪下蘋果、三星吃下高通，雙方算是勢均力敵。業界人士指出，兩家公司都大力擴充產線，表示其中一家將有能力通吃蘋果和高通的7奈米訂單；要是蘋果和高通大單真被一家全拿，痛失兩大廠訂單的業者，多數產線將被迫中斷，營運將受重創。
台積宣布，明年Q1將裝設艾司摩爾(ASML)的極紫外光(EUV)微影系統，名為NXE3400，部分用於生產7奈米晶片，部分將用於2020年的5奈米晶片。三星也打算導入NXE3400，時間為明年Q2。
據ETnews.com 5月報導，三星近期將從半導體設備大廠艾司摩爾（ASML）採購NXE3400機台，也就是量產型EUV微影設備，預計明年第二或第三季裝設完工後，於年底開始用於量產7奈米晶片，這將是三星首度在量產線上採用EUV設備。
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MoneyDJ 新聞 2016-09-21 10:27:04 記者陳苓 報導