【產業科普】先進封裝正夯,2.5D、3D 和 Chiplets 技術有何特點(上)

除了先進製程之外,先進封裝也成為延續摩爾定律的關鍵技術,像是 2.5D、3D 和 Chiplets 等技術在近年來成為半導體產業的熱門議題。究竟,先進封裝是如何在延續摩爾定律上扮演關鍵角色?而 2.5D、3D 和 Chiplets 等封裝技術又有何特點?

人工智慧(AI)、車聯網、5G 等應用相繼興起,且皆須使用到高速運算、高速傳輸、低延遲、低耗能的先進功能晶片;然而,隨著運算需求呈倍數成長,究竟要如何延續摩爾定律,成為半導體產業的一大挑戰。

晶片微縮愈加困難,異質整合由此而生

換言之,半導體先進製程紛紛邁入了 7 奈米、5 奈米,接著開始朝 3 奈米和 2 奈米邁進,電晶體大小也因此不斷接近原子的物理體積限制,電子及物理的限制也讓先進製程的持續微縮與升級難度越來越高。

也因此,半導體產業除了持續發展先進製程之外,也「山不轉路轉」地開始找尋其他既能讓晶片維持小體積,同時又保有高效能的方式;而晶片的布局設計,遂成為延續摩爾定律的新解方,異質整合(Heterogeneous Integration Design Architecture System,HIDAS)概念便應運而生,同時成為 IC 晶片的創新動能。

▲ 異質整合成為實現小體積、高效能晶片的另一種方式。(Source:SEMI

所謂的異質整合,廣義而言,就是將兩種不同的晶片,例如記憶體+邏輯晶片、光電+電子元件等,透過封裝、3D 堆疊等技術整合在一起。換句話說,將兩種不同製程、不同性質的晶片整合在一起,都可稱為是異質整合。

因為應用市場更加的多元,每項產品的成本、性能和目標族群都不同,因此所需的異質整合技術也不盡相同,市場分眾化趨勢逐漸浮現。為此,IC 代工、製造及半導體設備業者紛紛投入異質整合發展,2.5D、3D 封裝、Chiplets 等現今熱門的封裝技術,便是基於異質整合的想法,如雨後春筍般浮現。

2.5D 封裝有效降低晶片生產成本

過往要將晶片整合在一起,大多使用系統單封裝(System in a Package,SiP)技術,像是PiP(Package in Package)封裝、PoP(Package on Package)封裝等。然而,隨著智慧手機、AIoT 等應用,不僅需要更高的性能,還要保持小體積、低功耗,在這樣的情況下,必須想辦法將更多的晶片堆積起來使體積再縮小,因此,目前封裝技術除了原有的 SiP 之外,也紛紛朝向立體封裝技術發展。

立體封裝概略來說,意即直接使用矽晶圓製作的「矽中介板」(Silicon interposer),而不使用以往塑膠製作的「導線載板」,將數個功能不同的晶片,直接封裝成一個具更高效能的晶片。換言之,就是朝著晶片疊高的方式,在矽上面不斷疊加矽晶片,改善製程成本及物理限制,讓摩爾定律得以繼續實現。

而立體封裝較為人熟知的是 2.5D 與 3D 封裝,這邊先從 2.5D 封裝談起。所謂的 2.5D 封裝,主要的概念是將處理器、記憶體或是其他的晶片,並列排在矽中介板(Silicon Interposer)上,先經由微凸塊(Micro Bump)連結,讓矽中介板之內金屬線可連接不同晶片的電子訊號;接著再透過矽穿孔(TSV)來連結下方的金屬凸塊(Solder Bump),再經由導線載板連結外部金屬球,實現晶片、晶片與封裝基板之間更緊密的互連。

▲ 2.5D 和 3D 封裝是熱門的立體封裝技術。(Source:ANSYS

目前為人所熟知的 2.5D 封裝技術,不外乎是台積電的 CoWoS。CoWoS 技術概念,簡單來說是先將半導體晶片(像是處理器、記憶體等),一同放在矽中介層上,再透過 Chip on Wafer(CoW)的封裝製程連接至底層基板上。換言之,也就是先將晶片通過 Chip on Wafer(CoW)的封裝製程連接至矽晶圓,再把 CoW 晶片與基板連接,整合成 CoWoS;利用這種封裝模式,使得多顆晶片可以封裝到一起,透過 Si Interposer 互聯,達到了封裝體積小,功耗低,引腳少的效果。

▲ 台積電 CoWos 封裝技術概念。(Source:台積電

除了 CoWos 外,扇出型晶圓級封裝也可歸為 2.5D 封裝的一種方式。扇出型晶圓級封裝技術的原理,是從半導體裸晶的端點上,拉出需要的電路至重分布層(Redistribution Layer),進而形成封裝。因此不需封裝載板,不用打線(Wire)、凸塊(Bump),能夠降低 30% 的生產成本,也讓晶片更薄。同時也讓晶片面積減少許多,也可取代成本較高的直通矽晶穿孔,達到透過封裝技術整合不同元件功能的目標。

(首圖來源:NXP

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